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柔性超薄金剛石膜

硅基底金剛石膜

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基底：硅PET或者其他
厚度：0.5~2um
熱導率：1300~1800W/(m·K)
電阻：10^4~10^10Ω


（a）生長前后對比圖。生長后在 Si 基底形成致密金剛石薄膜（b）拉曼光譜顯示，整個金剛石薄膜晶體質量和均一性良好。

（c）金剛石光學顯微鏡圖片（d）金剛石薄膜表面 SEM 照片（e）截面 SEM 照片顯示測量的金剛石薄膜厚度約 2μm。

應用領域：柔性電子器件、芯片散熱、聲學換能器、量子信息等領域

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